教員データブック

岩手大学 工学部 大学院工学研究科
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向川 政治准教授

MUKAIGAWA Seiji

所属 工学部 電気電子・情報システム工学科
大学院 博士前期課程 電気電子・情報システム工学専攻
大学院 博士後期課程 電気電子・情報システム工学専攻
研究キーワード ◎放電 ◎プラズマ ◎半導体
研究内容 放電プラズマの生成と応用を主な研究対象としています。放電プラズマは、各種材料の表面改質や半導体デバイスプロセスなどに幅広く用いられています。現在は主に、プラズマから基板の熱流束の測定や、低誘電率薄膜、大気圧プラズマ、マイクロプラズマの研究、および放電プラズマに関する各種計算を行っています。また、大気圧プラズマの応用として、高分子材料表面処理(親水化、疎水化、窒化)の研究に、学内外の研究者とともに携わってきました。
研究分野 放電プラズマ工学、半導体工学
担当科目 電子デバイス工学l、電気数学、ベクトル解析、
電気デバイス工学特論、高周波デバイス工学特論
研究室URL http://thunder-fujiwara.elc.iwate-u.ac.jp/
向川 政治 准教授の写真
研究写真
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